I sistemi di raffreddamentu à azotu liquidu sò largamente usati in l'industria di semiconduttori è chip, cumpresu u prucessu di,
- A tecnulugia di l'Epitassia à Fasci Moleculare (MBE)
- A prova di u chip dopu u pacchettu COB
Prodotti cunnessi
Serie di tubi isolati à u vacuum
Serie di tubi flessibili insulati à u vacuum
Sistema di pompa à vuoto dinamica
Serie di Separatori di Fase Isolati à Vuoto
Serie di valvole isolate à u vacuum
Attrezzatura di Supportu di u Sistema di Tubazioni
EPITASSIA DI FASCI MULECOLARI
A tecnulugia di l'Epitassia à Fasciculi Moleculari (MBE) hè stata sviluppata in l'anni 1950 per preparà materiali à film sottili semiconduttori utilizendu a tecnulugia di l'evaporazione à vuoto. Cù u sviluppu di a tecnulugia di u vacuum ultra-altu, l'applicazione di a tecnulugia hè stata allargata à u campu di a scienza di i semiconduttori.
HL hà nutatu a dumanda di u sistema di raffreddamentu à l'azotu liquidu MBE, hà urganizatu una spina dorsale tecnica per sviluppà cù successu un sistema speciale di raffreddamentu à l'azotu liquidu MBE per a tecnulugia MBE è un inseme cumpletu di sistemi di tubazioni insulate à u vacuum, chì hè statu utilizatu in parechje imprese, università è istituti di ricerca.
I prublemi cumuni di l'industria di i semiconduttori è di i chip includenu,
- A Pressione di l'Azotu Liquidu in l'Equipaggiamentu Terminale (MBE). Impedisce à u Sovraccaricu di Pressione di Danneggià l'Equipaggiamentu Terminale (MBE).
- Cuntrolli multipli di entrata è uscita di liquidu criogenicu
- A Temperatura di l'Azotu Liquidu in l'Apparecchiatura Terminale
- Una quantità ragionevule di emissioni di gas criogenichi
- Commutazione (Automatica) di e Linee Principali è Dirigenti
- Ajustamentu di a pressione (riduzione) è stabilità di VIP
- Pulizia di e pussibili impurità è residui di ghiaccio da u serbatoiu
- Tempu di riempimentu di l'attrezzatura di liquidu terminale
- Preraffreddamentu di a pipeline
- Resistenza à i liquidi in u sistema VIP
- Cuntrollu di a perdita di azotu liquidu durante u serviziu discontinuu di u sistema
U tubu isolatu à u vacuum (VIP) di HL hè custruitu secondu u codice di tubazioni di pressione ASME B31.3 cum'è standard. L'esperienza ingegneristica è a capacità di cuntrollu di qualità garantiscenu l'efficienza è l'economicità di l'impianto di u cliente.
SULUZIONI
HL Cryogenic Equipment furnisce à i clienti u Sistema di Tubazioni Isolate à Vuoto per risponde à i requisiti è e cundizioni di l'industria di semiconduttori è chip:
1. Sistema di Gestione di a Qualità: Codice di Tubazioni di Pressione ASME B31.3.
2. Un Separatore di Fase Speciale cù Entrata è Uscita di Liquidu Criogenicu Multiple cù funzione di cuntrollu automaticu risponde à l'esigenza di emissione di gas, azotu liquidu riciclatu è temperatura di l'azotu liquidu.
3. Un cuncepimentu di scaricu adattatu è puntuale assicura chì l'equipaggiu terminale funziona sempre in u valore di pressione cuncipitu.
4. A barriera gas-liquidu hè piazzata in u tubu VI verticale à a fine di a cundutta VI. A barriera gas-liquidu usa u principiu di sigillatura di gas per bluccà u calore da a fine di a cundutta VI in a tubazione VI, è riduce efficacemente a perdita di azotu liquidu durante u serviziu discontinuu è intermittente di u sistema.
5.VI Tubazioni Cuntrullate da a Serie di Valvule Isolate à u Vuotu (VIV): Cumprese a Valvula di Chiusura (Pneumatica) Isolata à u Vuotu, a Valvula di Ritenuta Isolata à u Vuotu, a Valvula di Regulazione Isolata à u Vuotu ecc. Diversi tipi di VIV ponu esse cumminati modularmente per cuntrullà a VIP secondu i bisogni. VIV hè integrata cù a prefabbricazione VIP in u fabricatore, senza trattamentu isolatu in situ. L'unità di tenuta di VIV pò esse rimpiazzata facilmente. (HL accetta a marca di valvula criogenica designata da i clienti, è dopu produce valvule isolate à u vauotu da HL. Alcune marche è mudelli di valvule ùn ponu micca esse trasformati in valvule isolate à u vauotu.)
6. Pulizia, s'ellu ci sò esigenze supplementari per a pulizia di a superficia di u tubu internu. Si suggerisce chì i clienti sceglianu tubi d'acciaio inox BA o EP cum'è tubi interni VIP per riduce ulteriormente e perdite d'acciaio inox.
7. Filtru insulatu à u vuotu: Pulite e pussibili impurità è i residui di ghiaccio da u serbatoiu.
8. Dopu à uni pochi di ghjorni o più di arrestu o manutenzione, hè assai necessariu di preraffrescà e tubazioni VI è l'equipaggiu terminale prima chì u liquidu criogenicu entre in l'equipaggiu, per evità a scoria di ghiaccio dopu chì u liquidu criogenicu entra direttamente in e tubazioni VI è in l'equipaggiu terminale. A funzione di preraffreddamentu deve esse presa in contu in a cuncepzione. Fornisce una megliu prutezzione per l'equipaggiu terminale è l'equipaggiu di supportu di e tubazioni VI cum'è e valvole.
9. Adattu per u sistema di tubazioni isolate à u vacuum (flessibili) sia dinamiche sia statiche.
10. Sistema di Tubazioni Dinamicu Isolatu à u Vuotu (Flessibile): Cumpostu da Tubi Flessibili VI è/o Tubi VI, Tubi di Ponti, Sistema di Valvole Isolate à u Vuotu, Separatori di Fase è Sistema Dinamicu di Pompa à Vuotu (cumprese e pompe à vacuu, e valvole solenoidi è i vacuometri, ecc.). A lunghezza di un unicu Tubu Flessibile VI pò esse persunalizata secondu i requisiti di l'utente.
11. Diversi tipi di cunnessione: Si pò selezziunà u tipu di cunnessione à baionetta à vuoto (VBC) è a cunnessione saldata. U tipu VBC ùn hà micca bisognu di trattamentu d'isolamentu in situ.
