I sistemi di rinfrescamentu di l'azotu liquidu sò largamente usati in l'industria di semiconductor è chip, cumpresu u prucessu di,
- A tecnulugia di l'Epitassia di Fasci Moleculari (MBE)
- A prova di u chip dopu à u pacchettu COB
I prudutti cunnessi
Serie di tubi isolati à u vacuum
Serie di tubi flessibili isolati da vacuum
Sistema di pompa di vacuum dinamica
Serie di separatori di fasi isolati à vacuum
Serie di valvole isolate da vacuum
Piping System Support Equipment
EPITASSIA MOLECULAR BEAM
A tecnulugia di Molecular Beam Epitaxy (MBE) hè stata sviluppata in l'anni 1950 per preparà materiali di film sottili semiconduttori cù a tecnulugia di evaporazione di vacuum. Cù u sviluppu di a tecnulugia ultra-high vacuum, l 'applicazzioni di a tecnulugia hè stata allargata à u campu di a scienza semiconductor.
HL hà nutatu a dumanda di u sistema di rinfrescamentu di azotu liquidu MBE, a spina tecnicu urganizata per sviluppà successu un sistema speciale di cooing di nitrogenu liquidu MBE per a tecnulugia MBE è un inseme cumpletu di sistema di tubazioni isolati à vacuum, chì hè stata utilizata in parechje imprese, università è istituti di ricerca. .
I prublemi cumuni di l'industria di semiconductor è chip includenu,
- A pressione di l'azotu liquidu in l'equipaggiu terminal (MBE). Impedisce a sovraccarichi di pressione da danni à l'equipaggiu terminal (MBE).
- Cuntrolli multipli di l'ingressu è l'outlet di liquidu criogenicu
- A temperatura di l'azotu liquidu in l'equipaggiu terminal
- Una quantità raghjone di emissioni di gas criogenici
- (Automaticu) Cambiamentu di Linee Main è Branch
- Ajustamentu di Pressione (Riduzzione) è Stabilità di VIP
- Pulizia di e pussibuli impurità è i residui di ghiaccio da u tank
- Tempu di riempimentu di l'equipaggiu liquidu terminal
- Pipeline Precooling
- Resistenza à u liquidu in u sistema VIP
- Perdita di cuntrollu di azotu liquidu durante u serviziu discontinuu di u sistema
U Tubu Isolatu à Vacuum (VIP) di HL hè custruitu à u codice ASME B31.3 Pressure Piping cum'è standard. Esperienza ingegneria è capacità di cuntrollu di qualità per assicurà l'efficienza è l'efficacia di u costu di a pianta di u cliente.
SOLUZIONI
HL Cryogenic Equipment furnisce i clienti cù u Sistema di Piping Insulated Vacuum per risponde à i requisiti è e cundizioni di l'industria di semiconductor è chip:
1.Quality Management System: ASME B31.3 Pressure Piping Code.
2.A Special Phase Separator cù Multiple Cryogenic Liquid Inlet and Outlet cù funzione di cuntrollu automaticu risponde à u requisitu di emissioni di gas, nitrogenu liquidu riciclatu è temperatura di nitrogenu liquidu.
3.Adequate è u disignu di l'exhaustu puntuale assicura chì l'equipaggiu terminale travaglia sempre in u valore di pressione cuncepitu.
4.The Gas-liquid Barrier hè piazzatu in u pipe verticale VI à a fine di VI pipeline. Gas-liquid Barrier usa u principiu di sigillatura di gas per bluccà u calore da a fine di u pipeline VI in u VI Piping, è riduce in modu efficace a perdita di nitrogenu liquidu durante u serviziu discontinuu è intermittenti di u sistema.
5.VI Piping Controlled by The Vacuum Insulated Valve (VIV) Series: Includendu Vacuum Insulated (pneumatic) Valve d'arrestu, Valve di cuntrollu di vacuum, Valve di Regulazione di Vacuum Insulated etc. Diversi tipi di VIV ponu esse modulari cumminati per cuntrullà u VIP cum'è necessariu. VIV hè integrata cù a prefabbricazione VIP in u fabricatore, senza trattamentu insulatu in situ. L'unità di sigillatura di VIV pò esse rimpiazzata facilmente. (HL accetta a marca di valvula criogenica designata da i clienti, è poi face valvule vacuum insulated da HL. Certi marche è mudelli di valve ùn ponu micca esse fatte in valve insulated vacuum.)
6.Cleanliness, s'ellu ci sò esigenze addiziunali per a pulizia di a superficia di u tubu internu. Hè suggeritu chì i clienti sceglienu i tubi d'acciaio inox BA o EP cum'è tubi interni VIP per riduce ancu più u spillage in acciaio inox.
7.Vacuum Insulated Filter: Pulisce e impurità pussibuli è i residui di ghiaccio da u tank.
8.After uni pochi di ghjorni, o più chjusu o di mantenimentu, hè assai necessariu di precool u VI Piping è l'equipaggiu terminale prima di u liquidu cryogenic hè intrutu, cusì per evitari slag ghjacciu dopu liquidu criogenicu entra direttamente in u VI Piping è l'equipaggiu di terminal. A funzione di precooling deve esse cunsiderata in u disignu. Fornisce una prutezzione megliu per l'equipaggiu terminale è l'equipaggiu di supportu VI Piping cum'è valvole.
9.Suit per u Sistema di Piping Insulated Vacuum Insulated (Flexible) Dinamicu è Staticu.
10.Dynamic Vacuum Insulated (Flexible) Piping System: Cusist of VI Flexible Hoses è / o VI Pipe, Jumper Hoses, Vacuum Insulated Valve System, Phase Separators è Dynamic Vacuum Pump System (cumpresi i pumps vacuum, solenoid valves è vacuum gauges etc. ). A lunghezza di una sola Tuba Flessibile VI pò esse persunalizata secondu i bisogni di l'utilizatori.
11.Various Connection Types: Vacuum Bayonet Connection (VBC) Type and Welded Connection pò esse sceltu. U tipu VBC ùn hà micca bisognu di trattamentu insulatu in situ.
