U prughjettu Chip MBE hè statu cumpletatu in l'ultimi anni

Tecnulugia

L'epitassia à fasciu moleculare, o MBE, hè una nova tecnica per a crescita di film sottili di cristalli di alta qualità nantu à substrati cristallini. In cundizioni di ultra-altu vuoto, a stufa di riscaldamentu hè dotata di tutti i tipi di cumpunenti richiesti è genera vapore, attraversu fori furmati dopu a collimazione di u fasciu atomicu o moleculare, iniezione diretta à a temperatura adatta di u substratu di cristallu unicu, cuntrullendu u fasciu moleculare à a scansione di u substratu à u listessu tempu, pò fà chì e molecule o l'atomi in i strati di allineamentu di cristalli forminu un film sottile nantu à un substratu "crescita".

Per u funziunamentu nurmale di l'equipaggiu MBE, hè necessariu chì l'azotu liquidu d'alta purezza, bassa pressione è ultra pulitu sia trasportatu in modu continuu è stabile in a camera di raffreddamentu di l'equipaggiu. In generale, un serbatoiu chì furnisce azotu liquidu hà una pressione di uscita trà 0,3 MPa è 0,8 MPa. L'azotu liquidu à -196 ℃ hè facilmente vaporizatu in azotu durante u trasportu per pipeline. Una volta chì l'azotu liquidu cù un rapportu gas-liquidu di circa 1: 700 hè gasificatu in a pipeline, occuperà una grande quantità di spaziu di flussu d'azotu liquidu è riducerà u flussu nurmale à a fine di a pipeline d'azotu liquidu. Inoltre, in u serbatoiu di almacenamiento d'azotu liquidu, hè prubabile chì ci sianu detriti chì ùn sò stati puliti. In a pipeline d'azotu liquidu, l'esistenza d'aria umida porterà ancu à a generazione di scoria di ghiaccio. Se queste impurità sò scaricate in l'equipaggiu, causeranu danni imprevedibili à l'equipaggiu.

Dunque, l'azotu liquidu in u serbatu di almacenamentu esterno hè trasportatu à l'equipaggiu MBE in u laboratoriu senza polvere cù alta efficienza, stabilità è pulizia, è a bassa pressione, senza azotu, senza impurità, 24 ore senza interruzioni, tale sistema di cuntrollu di trasportu hè un pruduttu qualificatu.

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Attrezzatura MBE currispundente

Dapoi u 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) hà ottimizatu è migliuratu stu sistema è hà cooperatu cù i pruduttori internaziunali di l'equipaggiamenti MBE. I pruduttori di l'equipaggiamenti MBE, cumpresi DCA, REBER, anu relazioni di cuuperazione cù a nostra sucietà. I ​​pruduttori di l'equipaggiamenti MBE, cumpresi DCA è REBER, anu cooperatu in un gran numeru di prughjetti.

Riber SA hè un fornitore mundiale di punta di prudutti di epitaxia à fasciu moleculare (MBE) è servizii cunnessi per a ricerca di semiconduttori cumposti è applicazioni industriali. U dispusitivu Riber MBE pò deposità strati assai fini di materiale nantu à u sustratu, cù cuntrolli assai elevati. L'equipaggiu di vacuum di HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) hè dotatu di Riber SA. L'equipaggiu più grande hè Riber 6000 è u più chjucu hè Compact 21. Hè in bonu statu è hè statu ricunnisciutu da i clienti.

DCA hè u principale MBE d'ossidu in u mondu. Dapoi u 1993, hè statu realizatu un sviluppu sistematicu di tecniche d'ossidazione, riscaldamentu di substrati antioxidanti è fonti antioxidanti. Per questa ragione, parechji laboratori principali anu sceltu a tecnulugia d'ossidu DCA. I sistemi MBE à semiconduttori cumposti sò aduprati in u mondu sanu. U sistema di circulazione d'azotu liquidu VJ di HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) è l'equipaggiu MBE di parechji mudelli di DCA anu a listessa sperienza in parechji prughjetti, cum'è u mudellu P600, R450, SGC800 ecc.

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Tavula di Prestazione

Istitutu di Fisica Tecnica di Shanghai, Accademia Cinese di Scienze
L'11esimu Istitutu di a Corporazione di Tecnulugia Elettronica Cinese
Istitutu di Semiconduttori, Accademia Cinese di Scienze
Huawei
Accademia Alibaba DAMO
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Fotonica Everbright di Suzhou

Data di publicazione: 26 di maghju 2021

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