Tecnulugia
L'epitassi di fasciu moleculare, o MBE, hè una nova tecnica per cultivà filmi sottili di cristalli di alta qualità nantu à sustrati di cristalli. In cundizioni di vacu ultra-altu, da a stufa di riscaldamentu hè dotata di tutti i tipi di cumpunenti necessarii è genera vapore, attraversu i buchi furmati dopu a collimazione di un fasciu atomicu o moleculare, iniezione diretta à a temperatura adatta di u sustrato di cristallo unicu, cuntrullendu u fasciu moleculare à u sustrato scanning à u listessu tempu, si pò fà i molécules o atomi in cristalli allinamentu strati di furmà una film magre nantu à un sustrato "crescita".
Per u funziunamentu normale di l'equipaggiu MBE, l'alta purezza, a bassa pressione è u nitrogenu liquidu ultra-pulitu hè necessariu esse trasportatu in modu continuu è stabile à a camera di rinfrescante di l'equipaggiu. In generale, un tank chì furnisce nitrogenu liquidu hà una pressione di output trà 0.3MPa è 0.8MPa. U nitrogenu liquidu à -196 ℃ hè facilmente vaporizatu in nitrogenu durante u trasportu di pipeline. Quandu u nitrogenu liquidu cù un rapportu gasu-liquidu di circa 1: 700 hè gasificatu in u pipeline, occuperà una grande quantità di spaziu di flussu di nitrogenu liquidu è riduce u flussu normale à a fine di u pipeline di nitrogenu liquidu. Inoltre, in u tank di almacenamentu di nitrogenu liquidu, ci hè prubabile di esse debris chì ùn sò micca stati puliti. In u pipeline di nitrogenu liquidu, l'esistenza di l'aria umida porta ancu à a generazione di scorie di ghiaccio. Se queste impurità sò scaricate in l'equipaggiu, pruvucarà danni imprevisible à l'equipaggiu.
Dunque, l'azotu liquidu in u cisterna di almacenamentu esterno hè trasportatu à l'equipaggiu MBE in l'attellu senza polvera cun alta efficienza, stabilità è pulita, è a bassa pressione, senza nitrogenu, senza impurità, 24 ore ininterrotta, tali sistema di cuntrollu di trasportu hè. un pruduttu qualificatu.
L'equipaggiu MBE currispondente
Dapoi u 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) hà ottimisatu è migliurà stu sistema è cooperanu cù i fabricatori internaziunali di l'equipaggiu MBE. I pruduttori di l'equipaggiu MBE, cumprese DCA, REBER, anu relazioni cooperative cù a nostra cumpagnia. I pruduttori di l'equipaggiu MBE, cumprese DCA è REBER, anu cooperatu in un gran numaru di prughjetti.
Riber SA hè un fornitore leader globale di prudutti di epitassi di fasci moleculari (MBE) è servizii cunnessi per a ricerca di semiconduttori composti è applicazioni industriali. U dispusitivu Riber MBE pò dipositu strati assai fini di materiale nantu à u sustrato, cù cuntrolli assai altu. L'equipaggiu di vacuum di HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) hè equipatu di Riber SA L'equipaggiu più grande hè Riber 6000 è u più chjucu hè Compact 21. Hè in bonu cundizione è hè statu ricunnisciutu da i clienti.
DCA hè u primu oxidu MBE di u mondu. Dapoi u 1993, u sviluppu sistematicu di tecniche di oxidazione, riscaldamentu di sustrato antioxidante è fonti antioxidanti hè statu realizatu. Per quessa, parechji laboratorii principali anu sceltu a tecnulugia di l'ossidu DCA. I sistemi MBE di semiconduttori composti sò usati in u mondu. U sistema di circulazione di nitrogenu liquidu VJ di HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) è l'equipaggiu MBE di parechje mudelli di DCA anu l'esperienza di cungruenza in parechji prughjetti, cum'è u mudellu P600, R450, SGC800 etc.
Tavola di rendiment
Istitutu di Fisica Tecnica di Shanghai, Accademia Cinese di Scienze |
L'11th Institute of China Electronics Technology Corporation |
Istitutu di Semicondutturi, Accademia Cinese di Scienze |
Huawei |
Alibaba DAMO Academy |
Powertech Technology Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Suzhou Everbright Photonics |
Tempu di post: 26-May-2021