U Prughjettu Chip MBE Cumpitatu in l'Anni Passati

Tecnulugia

L'epitassi di fasciu moleculare, o MBE, hè una nova tecnica per cultivà filmi sottili di cristalli di alta qualità nantu à sustrati di cristalli. In cundizioni di vacu ultra-altu, da a stufa di riscaldamentu hè dotata di tutti i tipi di cumpunenti necessarii è genera vapore, attraversu i buchi furmati dopu a collimazione di un fasciu atomicu o moleculare, iniezione diretta à a temperatura adatta di u sustrato di cristallo unicu, cuntrullendu u fasciu moleculare à u sustrato scanning à u listessu tempu, si pò fà i molécules o atomi in cristalli allinamentu strati di furmà una film magre nantu à un sustrato "crescita".

Per u funziunamentu normale di l'equipaggiu MBE, l'alta purezza, a bassa pressione è u nitrogenu liquidu ultra-pulitu hè necessariu esse trasportatu in modu continuu è stabile à a camera di rinfrescante di l'equipaggiu. In generale, un tank chì furnisce nitrogenu liquidu hà una pressione di output trà 0.3MPa è 0.8MPa. U nitrogenu liquidu à -196 ℃ hè facilmente vaporizatu in nitrogenu durante u trasportu di pipeline. Quandu u nitrogenu liquidu cù un rapportu gasu-liquidu di circa 1: 700 hè gasificatu in u pipeline, occuperà una grande quantità di spaziu di flussu di nitrogenu liquidu è riduce u flussu normale à a fine di u pipeline di nitrogenu liquidu. Inoltre, in u tank di almacenamentu di nitrogenu liquidu, ci hè prubabile di esse debris chì ùn sò micca stati puliti. In u pipeline di nitrogenu liquidu, l'esistenza di l'aria umida porta ancu à a generazione di scorie di ghiaccio. Se queste impurità sò scaricate in l'equipaggiu, pruvucarà danni imprevisible à l'equipaggiu.

Dunque, l'azotu liquidu in u cisterna di almacenamentu esterno hè trasportatu à l'equipaggiu MBE in l'attellu senza polvera cun alta efficienza, stabilità è pulita, è a bassa pressione, senza nitrogenu, senza impurità, 24 ore ininterrotta, tali sistema di cuntrollu di trasportu hè. un pruduttu qualificatu.

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L'equipaggiu MBE currispondente

Dapoi u 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) hà ottimisatu è migliurà stu sistema è cooperanu cù i fabricatori internaziunali di l'equipaggiu MBE. I pruduttori di l'equipaggiu MBE, cumprese DCA, REBER, anu relazioni cooperative cù a nostra cumpagnia. I pruduttori di l'equipaggiu MBE, cumprese DCA è REBER, anu cooperatu in un gran numaru di prughjetti.

Riber SA hè un fornitore leader globale di prudutti di epitassi di fasci moleculari (MBE) è servizii cunnessi per a ricerca di semiconduttori composti è applicazioni industriali. U dispusitivu Riber MBE pò dipositu strati assai fini di materiale nantu à u sustrato, cù cuntrolli assai altu. L'equipaggiu di vacuum di HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) hè equipatu di Riber SA L'equipaggiu più grande hè Riber 6000 è u più chjucu hè Compact 21. Hè in bonu cundizione è hè statu ricunnisciutu da i clienti.

DCA hè u primu oxidu MBE di u mondu. Dapoi u 1993, u sviluppu sistematicu di tecniche di oxidazione, riscaldamentu di sustrato antioxidante è fonti antioxidanti hè statu realizatu. Per quessa, parechji laboratorii principali anu sceltu a tecnulugia di l'ossidu DCA. I sistemi MBE di semiconduttori composti sò usati in u mondu. U sistema di circulazione di nitrogenu liquidu VJ di HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) è l'equipaggiu MBE di parechje mudelli di DCA anu l'esperienza di cungruenza in parechji prughjetti, cum'è u mudellu P600, R450, SGC800 etc.

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Tavola di rendiment

Istitutu di Fisica Tecnica di Shanghai, Accademia Cinese di Scienze
L'11th Institute of China Electronics Technology Corporation
Istitutu di Semicondutturi, Accademia Cinese di Scienze
Huawei
Alibaba DAMO Academy
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Tempu di post: 26-May-2021

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