Breve di Epitaxy Molecular (MBE)
A tecnulugia di e epitaxia molecular (MBE) hè statu sviluppatu in l'anni 1950 per preparalli semiconduttori materiali film sott'à a tecnulugia di vacu. Cù u sviluppu di a tecnulugia di vacu ultra-alta, l'applicazione di a tecnulugia hè stata estesa à u campu di a scienza semiconductor.
A motivazione di a ricerca di materiali semiconductori hè a dumanda di novi dispositi, chì pò migliurà a performance di u sistema. A turnu, nova tecnulugia materiale pò pruduce novi equipamenti è tecnulugia nova. L'epitaxy moleculare (MBE) hè una alta tecnulugia di vacu per a capa di epitaxiale (generalmente semiconductor) crescita. Utiliza u fasciu di u calore di l'atomi di fonte o molécule impactendu u sustrato di cristallu unicu cristallu. E caratteristiche ultra-alta di u prucessu permettenu di u situ in situ di u situ in e superfici di l'insulante nantu à e superfici semiconductori di novu, chì hà risultatu in interfacce senza contaminazione.


Tecnulugia mbe
L'epitaxia moleculare hè stata realizata in un altu vacu o u vacu Ultra-alta (1 x 10-8Par) ambiente. L'aspettu più impurtante di l'epitaxia molecululare hè a so rata di bassa di dizione, chì genereghja a spettore à epitaxial cresce a una rata di menu di 3000 nm per ora. Un tale tassu di deposizione bassa richiede un vacu abbastanza altu per uttene u listessu livellu di pulizia cum'è altri metudi di deposizione.
À scontre u vacu Ultra-alta quì, u dispusitivu MP (CNudsen) hà una capa di rinfrescante, è l'ambiente di a ultrazia di a crescita deve esse sicuru un sistema di circulazione di u niduru. Nitrogenu liquidu Cools a temperatura interna di u dispusitivu à 77 KellVin (-196 ° C). L'ambiente di temperatura bassa pò riduce ancu u cuntenutu di impurità in vacu è furnisce e cundizioni megliu per a deposizione di filmi magre. Dunque, un sistema di circulazione di circulazione di riscaldamentu dedicata nitrogenu hè necessaria per l'equipaggiu MBE per furnisce un fornimentu cuntinuu è stabile di -119 ° CLiLogenu Nitrogenu.
Sistema di circulazione di u circulazione di u nitrogenu liquidu
U sistema di circulazione di cipru nitrogenu di u vacu nitrogenu principalmente include,
● tank c cristogenicu
● Main è Branch Vacuum Jacet hà giapponatu di a pipa / u vacu
● MBE speciale separatore di fasa è u vacu
● Varie vovi di vacu
● Barriera di Gas-Liquid
● filtru giacca di u vacu
● Sistema di Pump di Dicum Fuguum
● Sistema di ricaricamentu è purgà
A cumpagnia di equipaghji di Cronogenicu HL hà nutatu u sistema di staghjunatu nitrogeni iXelid nitrogen, sviluppà a lista tecnica organizzata per un sistema speciale mbeedPiping Sistema, chì hè stata aduprata in parechje imprese, l'università è l'istituti di ricerca.


Hl girogenicu equipamentu
L'equipaggiu di cronogenicu HL chì hè stata fundata in u 1992 hè una marca affirata a terra faccili in Chegdu Hl Criogenic Equipment hè impegnatu in u disignu è a fabricazione di un altu sistema di pipa di piping è di un equipamentu di supportu rilativi.
Per più infurmazione, visitate u situ ufficialewww.hlcryo.com, o email àinfo@cdholy.com.
Tempu di Post: May-06-2021